X熒光光譜儀ROHS檢測儀的分類、應(yīng)用及工作原理

分類：ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀， X射線熒光光譜儀通?？煞譃閮纱箢悾ㄩL色散X射線熒光光譜儀和能量色散X射線熒光光譜儀

應(yīng)用：利用X射線檢測ROHS標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定中的元素的含量

工作原理：

1、波長色散X射線熒光光譜儀使用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據(jù)Bragg定律，通過測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長：

nλ=2dsinaθ （n=1,2,3…）

式中 ，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級次。利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角，利用上式可以計(jì)算相應(yīng)被分析元素的波長，從而獲得待測元素的特征信息。

2、能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器，通過測定由探測器收集到的電荷量，直接獲得被測元素發(fā)出的特征射線能量：

Q=kE

式中，K為入射射線的光子能量；Q為探測器產(chǎn)生的相應(yīng)電荷量；k為不同類型能量探測器的響應(yīng)參數(shù)。電荷量與入射射線能量成正比，故通過測定電荷量可得到待測元素的特征信息。

待測元素的特征譜線需要采用一定的激發(fā)源才能獲得。目前常規(guī)采用的激發(fā)源主要有射線光管和同位素激發(fā)源等。

為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品制備技術(shù)，并對獲得的強(qiáng)度進(jìn)行相關(guān)的譜分析和數(shù)據(jù)處理。